Leica ACE600 recubridor de alto vacío
Leica ACE600 recubridor de alto vacío
El Leica ACE600 es un sistema dedicado para el recubrimiento rutinario de muestras no conductoras para su posterior examen en microscopios SEM, TEM y/o microsonda. El recubrimiento se realiza normalmente mediante el método de sputtering, en el que un plasma de argón erosiona un material objetivo que luego se deposita sobre la superficie de la muestra. También se puede realizar recubrimiento conductor mediante evaporación de hilo de carbono, lo cual es importante cuando se requiere un recubrimiento de bajo número atómico, especialmente para análisis EDS o microsonda. Nuestro equipo está totalmente automatizado y puede utilizar ambos métodos: sputtering metálico y evaporación de hilo de carbono.
Características principales
- 2 fuentes de recubrimiento: sputtering y evaporación de hilo de carbono
- Targets metálicos disponibles: Au, Pt, Ir, Cr y W
- Plataforma rotatoria para muestras, 24 posiciones para stubs SEM de 12,7 mm; inclinación de la plataforma hasta 60º
- Monitor de grosor de película de cuarzo (QSG) con resolución de 0,1 nm, cristal de cuarzo de 6 MHz
- Vacío final < 2×10⁶ mbars
- Panel táctil integrado, hasta 100 protocolos/recipes para archivos de material y secuencias de recubrimiento

Contacto
Para utilizar el equipo, contacte con Trifon Trifonov (tecnics.multiescala@upc.edu)
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