Dektak 150 Stylus profiler
Dektak 150 Stylus profiler
El perfilador de tipo stylus es un perfilador de contacto en el que un stylus afilado se mueve horizontalmente sobre la superficie de la muestra. El desplazamiento vertical del stylus, debido a la rugosidad de la superficie, se mide en función de la posición. El Dektak 150 Stylus profiler, disponible en nuestro laboratorio, es una herramienta avanzada para medir alturas de escalones capaz de medir escalones por debajo de 100 Å. Se puede utilizar para perfilar la topografía y ondulación de la superficie, así como para medir la rugosidad superficial en la escala de nanómetros.
Características principales
- Rango de longitud de escaneo: 5 µm a 55 mm
- Rango vertical máximo Z: 524 µm, resolución 80 Å
- Fuerza del stylus: 1 – 15 mg con sensor de baja inercia LIS
- Opciones de stylus: 12,5 µm, 2,5 µm, punta superafilada de 50 nm
- Plataforma X-Y/theta manual estándar, traslación X-Y de 100x100 mm, rotación de 360°
- Cámara CCD de 640x480 píxeles para visualizar la muestra
- Espesor máximo de muestra: 101 mm (4 in.)
- Tamaño máximo de wafer: 150 mm (6 in.)

Contacto
Para reservar el equipo, contacte con Trifon Trifonov (tecnics.multiescala@upc.edu)
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