La perfilometría óptica es una técnica de medición de superficies sin contacto basada en la interferencia de ondas de luz para obtener mapas topográficos 3D de alta precisión. Un haz de luz se divide en dos trayectorias: una dirigida a una superficie de referencia y otra a la muestra. Cuando los haces reflejados se recombinan, se forman patrones de interferencia en función de la diferencia de camino óptico. Mediante el análisis de estas franjas, se pueden medir variaciones de altura en la superficie con una resolución vertical subnanométrica.

El equipo Profilm 3D de KLA ofrece cuatro modos de medición interferométrica con distintos rangos y resoluciones:

• Interferometría de luz blanca (WLI): utiliza luz de banda ancha y baja coherencia, lo que permite mediciones absolutas de altura ideales para superficies con escalones o discontinuidades.
• Interferometría de luz verde (GLI): emplea luz verde monocromática con mayor longitud de coherencia, permitiendo obtener más puntos de medida en superficies rugosas o complejas, aunque con una resolución vertical ligeramente inferior.
• Interferometría de desplazamiento de fase (PSI): captura múltiples imágenes con desplazamientos de fase bajo luz monocromática para lograr una resolución vertical muy alta, aunque requiere condiciones ambientales estables.
• Modo compuesto WLI/PSI: combina las ventajas de WLI y PSI, manteniendo una alta resolución y ampliando el rango de medición.