La microscopía confocal es una técnica de imagen óptica que incrementa la resolución y el contraste mediante el uso de un pinhole espacial para bloquear la luz fuera de foco. Esto permite la obtención de imágenes precisas de superficies con selectividad en profundidad. En una configuración confocal típica, el sistema escanea la muestra punto por punto y captura únicamente la luz procedente del plano focal, lo que permite la reconstrucción de perfiles de superficie 3D de alta resolución. El Zeta-20 de KLA utiliza una implementación propietaria de la microscopía confocal denominada tecnología Z-dot. A diferencia de los métodos interferométricos, Z-dot no se basa en franjas de interferencia, sino que captura la información de enfoque píxel a píxel a medida que el objetivo se desplaza a lo largo del eje Z.

En cada ubicación de píxel, el sistema identifica el punto de máximo contraste o nitidez (es decir, el mejor enfoque), que corresponde a la altura de la superficie en ese punto. Estos datos se utilizan posteriormente para construir un mapa topográfico 3D de la muestra. Gracias a su análisis local del enfoque, la tecnología Z-dot es especialmente eficaz en superficies complejas, incluidas superficies rugosas o inclinadas, materiales transparentes o semitransparentes y muestras con propiedades ópticas mixtas.