Leica ACE600 recobridor d’alt buit
Leica ACE600 recobridor d’alt buit
El Leica ACE600 és un sistema dedicat per al recobriment rutinari de mostres no conductores per a la seva posterior observació en microscopis SEM, TEM i/o microprova. El recobriment s’efectua normalment mitjançant el mètode de sputtering, en què un plasma d’argó erosiona un material objectiu que després es diposita sobre la superfície de la mostra. També es pot realitzar el recobriment conductor mitjançant evaporació de fil de carboni, important quan es requereix un recobriment de baix número atòmic, especialment per a anàlisis EDS o microprova. El nostre equip està totalment automatitzat i és capaç d’utilitzar ambdós mètodes: sputtering de metall i evaporació de fil de carboni.
Característiques principals
- 2 fonts de recobriment: sputtering i evaporació de fil de carboni
- Targets metàl·lics disponibles: Au, Pt, Ir, Cr i W
- Plataforma rotativa per a mostres, 24 posicions per a stubs SEM de 12,7 mm; inclinació de la plataforma fins a 60º
- Monitor de gruix de pel·lícula de quars (QSG) amb resolució de 0,1 nm, cristall de quars de 6 MHz
- Buit final < 2×10⁶ mbars
- Panell tàctil integrat, fins a 100 protocols/recipes per a fitxers de materials i seqüències de recobriment

Contacte
Per utilitzar l’equip, contacteu amb en Trifon Trifonov (tecnics.multiescala@upc.edu)
Comparteix: