La perfilometria òptica és una tècnica de mesura de superfícies sense contacte basada en la interferència d’ones de llum per obtenir mapes topogràfics 3D d’alta precisió. Un feix de llum es divideix en dos camins: un dirigit cap a una superfície de referència i l’altre cap a la mostra. Quan els feixos reflectits es recombinen, es formen patrons d’interferència en funció de la diferència de camí òptic. Mitjançant l’anàlisi d’aquestes franges, es poden mesurar les variacions d’alçada de la superfície amb una resolució vertical subnanomètrica.

L’equip Profilm 3D de KLA ofereix quatre modes de mesura interferomètrica amb diferents rangs i resolucions:

• Interferometria de llum blanca (WLI): utilitza llum de banda ampla i baixa coherència, permetent mesures absolutes d’alçada ideals per a superfícies amb esglaons o discontinuïtats.
• Interferometria de llum verda (GLI): empra llum verda monocromàtica amb una longitud de coherència més gran, cosa que permet obtenir més punts de mesura en superfícies rugoses o complexes, amb una resolució vertical lleugerament inferior.
• Interferometria de desplaçament de fase (PSI): captura múltiples imatges amb desplaçaments de fase sota llum monocromàtica per assolir una resolució vertical molt elevada, tot i que requereix condicions ambientals estables.
• Mode compost WLI/PSI: combina els avantatges de WLI i PSI, mantenint una alta resolució mentre amplia el rang de mesura.