La microscòpia confocal és una tècnica d’imatge òptica que augmenta la resolució i el contrast mitjançant l’ús d’un pinhole espacial per bloquejar la llum fora de focus. Això permet una imatge precisa de superfícies amb selectivitat en profunditat. En una configuració confocal típica, el sistema escaneja la mostra punt per punt i capta llum únicament del pla focal, fet que permet la reconstrucció de perfils de superfície 3D d’alta resolució. El Zeta-20 de KLA utilitza una implementació propietària de la microscòpia confocal anomenada tecnologia Z-dot. A diferència dels mètodes interferomètrics, Z-dot no es basa en franges d’interferència, sinó que captura la informació de focus píxel a píxel mentre l’objectiu es desplaça al llarg de l’eix Z.

A cada posició de píxel, el sistema identifica el punt de màxim contrast o nitidesa (és a dir, el millor focus), que correspon a l’alçada de la superfície en aquell punt. Aquestes dades s’utilitzen posteriorment per construir un mapa topogràfic 3D de la mostra. Gràcies a l’anàlisi local del focus, la tecnologia Z-dot és especialment efectiva en superfícies complexes, incloent superfícies rugoses o inclinades, materials transparents o semitransparents i mostres amb propietats òptiques mixtes.