Dektak 150 Stylus profiler
Dektak 150 Stylus profiler
El perfilador de tipus stylus és un perfilador de contacte en el qual un stylus afilat es desplaça horitzontalment sobre la superfície de la mostra. El desplaçament vertical de l’stylus, degut a la rugositat de la superfície, es mesura en funció de la posició. El Dektak 150 Stylus profiler, disponible al nostre laboratori, és una eina avançada per mesurar alçades de passos capaç de mesurar passos inferiors a 100 Å. Es pot utilitzar per perfilar la topografia i ondulació de la superfície, així com per mesurar la rugositat superficial en l’escala de nanòmetres.
Característiques principals
- Rango de longitud de scan: 5 µm a 55 mm
- Rango vertical màxim Z: 524 µm, resolució 80 Å
- Força de l’stylus: 1 – 15 mg amb sensor de baixa inèrcia LIS
- Opcions de stylus: 12,5 µm, 2,5 µm, punta superafillada de 50 nm
- Plataforma X-Y/theta manual estàndard, translació X-Y de 100x100 mm, rotació de 360°
- Càmera CCD de 640x480 píxels per visualitzar la mostra
- Gruix màxim de mostra: 101 mm (4 in.)
- Mida màxima de wafer: 150 mm (6 in.)

Contacte
Per reservar l’equip, contacteu amb en Trifon Trifonov (tecnics.multiescala@upc.edu)
Comparteix: